台积电今年已经量产了5nm工艺。苹果的A14和华为麒麟9000系列是台积电第一批的5nm工艺产品。明年将有第二代5nm工艺的芯片产品。近期有消息称，台积电第二代的5nm工艺性能和能效超出了预期。
根据台积电先前的声明，5nm工艺将是他们大面积使用EUV光刻技术。今年的大规模生产是第一代5nm工艺。2021年将有第二代5nm工艺，将会使芯片性能提高了5％，能效比提高了10％。
最近的消息表明，台积电的第二代5nm工艺性能超超出了预定的目标，第二代5nm工艺将会使芯片性能提高了7％，能效比提高了15％。
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